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1
A study on the characteristics of RF multi hole cathode CCP discharge in various noble gas = 복수 홀 전극 구조를 갖는 축전 결합 RF 방전 특성에 관한 연구link

Lee, Hun-su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2011

2
(A) study on uniformity of polishing rate in the chemical-mechanical polishing(CMP) of SiO2 thin film = 실리콘 산화막 CMP에서 연마속도 균일도 향상에 관한 연구link

Kim, Jin-Hyuck; 김진혁; et al, 한국과학기술원, 2000

3
CMP의 기계적 공정 변수가 반도체 표면 평탄화의 균일도에 미치는 영향 = A effect of the mechanical factors on the uniformity in the chemical-mechanical polishing(CMP) of $SiO_2$ thin filmlink

김우찬; Kim, Woo-Chan; et al, 한국과학기술원, 1996

4
DC magnetron sputtering으로 증착한 Cr 산화물 박막의 두께 균일도 및 광학적인 특성 분석 = Analysis on thickness uniformity and optical properties of chromium oxide thin films deposited by DC magnetron sputteringlink

홍승범; Hong, Seung-Bum; et al, 한국과학기술원, 1996

5
Fabrication of a uniform microlens array over a large area using self-aligned diffuser lithography and its application = 자기정렬 디퓨저 리소그래피를 이용한 대면적의 균일한 마이크로렌즈 어레이 제작 및 이의 응용link

Kim, Hyeon-Don; 김현돈; et al, 한국과학기술원, 2012

6
On the uniformity of electric field controlled plasma sources = 전기장으로 제어된 플라즈마 소스의 균일도에 관한 연구link

Lee, Yong-Kwan; 이용관; et al, 한국과학기술원, 2003

7
Simulation for solving uniformity problem of large area CCP = 대면적 축전 결합 플라즈마의 균일도 문제를 해결하기 위한 모의 실험link

Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2011

8
(The) discrepancy and monte carlo methods in a nonconvex domain = 비볼록 영역에서의 불일치도와 몬테카를로 방법link

Lee, Ju-ho; 이주호; et al, 한국과학기술원, 2008

9
균일도와 효율 개선을 위한 유도 결합 플라즈마에 관한 연구 = Study on inductively coupled plasma for uniformity and efficiency improvementlink

엄정환; Um, Jung-hwan; et al, 한국과학기술원, 2008

10
박막형 실리콘 태양전지 증착을 위한 대면적 고속 증착장비 연구 = Study on the VHF multi-electrode CCP for the microcrystalline silicon thin film solar cellslink

이윤성; Lee, Yun-Seong; et al, 한국과학기술원, 2013

11
수직형 HRSG 내부 유동 특성 및 케이싱 열응력 해석에 관한 실험적/수치적 연구 = A numerical and experimental study on the flow characteristic in an inlet duct and thermal stress analysis on casing of vertical type HRSGlink

신현태; Shin, Hyun-Tae; et al, 한국과학기술원, 2011

12
증착률 균일화를 위한 화학증착 반응로에서 운전조건 및 형상 최적화에 관한 연구 = Operating condition and shape optimization of a CVD reactor for uniform film growthlink

조원국; Cho, Won-Kook; et al, 한국과학기술원, 1999

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