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마이크로 게이지를 이용한 다결정 실리콘 박막의 열팽창계수의 측정 채정헌; 이재열; 강상원, 한국재료학회지, v.8, no.1, pp.85 - 91, 1998-01 |
산화-환원 ALD 증착법에 의해 형성된 Nickel 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the nickel thin films formed by oxidation-reduction ALDlink 채정헌; Chae, Jung-Hun; et al, 한국과학기술원, 2002 |
테스트 패턴을 이용한 다결정 실리콘 박막의 열팽창 계수 측정에 관한 연구 = Measurement of thermal expansion coefficient of polycrystalline silicon thin film by micro test patternslink 채정헌; Chae, Jung-Hun; et al, 한국과학기술원, 1997 |
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