광위상간섭에 의한 경면의 정밀 형상측정Precision Profile Measurement of Mirror Surfaces by Phase Shifting Interferometry
본 연구에서는 초정밀 경면의 표면형상을 비접촉식으로 측정하기 위한 광위상 간섭법(phase shifting interferometry)에 관한 연구결과를 기술하였다. 리닉(lin- nik) 광학계를 이용한 광위상간섭에 대한 기본 측정원리를 정립하고 표면측정을 위한 간섭무늬처리 영상해석 알고리즘을 개발하였다. 그리고 실제적인 경면의 측정을 통 하여 개발한 광학계 및 측정 알고리즘의 타당성을 검증하였다.
- Publisher
- 대한기계학회
- Issue Date
- 1992-01
- Language
- Korean
- Citation
대한기계학회논문집A, v.16, no.8, pp.1530 - 1535
- ISSN
- 1226-4873
- Appears in Collection
- ME-Journal Papers(저널논문)
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