광위상간섭에 의한 경면의 정밀 형상측정Precision Profile Measurement of Mirror Surfaces by Phase Shifting Interferometry
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김승우 | ko |
| dc.contributor.author | 공인복 | ko |
| dc.contributor.author | 민선규 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-02-25T20:10:51Z | - |
| dc.date.available | 2013-02-25T20:10:51Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1992-01 | - |
| dc.identifier.citation | 대한기계학회논문집A, v.16, no.8, pp.1530 - 1535 | - |
| dc.identifier.issn | 1226-4873 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/64911 | - |
| dc.description.abstract | 본 연구에서는 초정밀 경면의 표면형상을 비접촉식으로 측정하기 위한 광위상 간섭법(phase shifting interferometry)에 관한 연구결과를 기술하였다. 리닉(lin- nik) 광학계를 이용한 광위상간섭에 대한 기본 측정원리를 정립하고 표면측정을 위한 간섭무늬처리 영상해석 알고리즘을 개발하였다. 그리고 실제적인 경면의 측정을 통 하여 개발한 광학계 및 측정 알고리즘의 타당성을 검증하였다. | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | 광위상간섭에 의한 경면의 정밀 형상측정 | - |
| dc.title.alternative | Precision Profile Measurement of Mirror Surfaces by Phase Shifting Interferometry | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 16 | - |
| dc.citation.issue | 8 | - |
| dc.citation.beginningpage | 1530 | - |
| dc.citation.endingpage | 1535 | - |
| dc.citation.publicationname | 대한기계학회논문집A | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 공인복 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 민선규 | - |
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- ME-Journal Papers(저널논문)
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