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긴 레이저 조사방식에 의한 저밀도 이광자 광중합 영역을 이용한 Sub-100 nm 정밀도의 엠보싱 패턴제작 임태우; 박상후; 양동열, 한국정밀공학회지, v.24, no.1, pp.64 - 70, 2007-01 |
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