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Deep X-ray Mask Embedded in Electrostatic Actuator for 3-D LIGAProcess 이광철; 이성근; 문상준; 이승섭, 1st Intelligent Microsystem, pp.180 - 183, 2001 |
경사 LIGA 공정을 이용한 미세 바늘 어레이의 제작 문상준; 이승섭, 제5회 한국 MEMS 학술대회, 2004 |
원형 다중 전극을 이용한 DNA 조작 소자 문상준; 윤재영; 이승섭; 남홍길; 지연태, 제4회 한국 MEMS 학술대회, 2002-04 |
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