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RTP 시스템내의 웨이퍼 온도 균일도를 위한 모델링 및 모사 박형진; 이정석; 박선원, KIChE Meeting, KIChE, 1998-01-01 | |
시간 지연향을 가진 불안정 공정에 대한 PID 제어기의 설계 이용호; 이정석; 박선원, KIChE Meeting, KIChE, 1998-01-01 |
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