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Development of VHF inductively coupled plasma source and study on the frequency effect of plasma parameters = VHF 유도 결합 플라즈마 원 개발 및 플라즈마 변수들의 주파수 효과에 관한 연구link Jun, Hyun-su; 전현수; et al, 한국과학기술원, 2009 |
On the uniformity of electric field controlled plasma sources = 전기장으로 제어된 플라즈마 소스의 균일도에 관한 연구link Lee, Yong-Kwan; 이용관; et al, 한국과학기술원, 2003 |
대면적 플라즈마를 위한 병렬 공명 안테나의 개발과 그 특성에 관한 연구 = A study of parallel resonance antenna for large area plasmalink 이동석; Lee, Dong-Seok; et al, 한국과학기술원, 2000 |
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