Browse "Dept. of Physics(물리학과)" by Author 인정환
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| 그리드를 장착한 DC 마그네트론 스퍼터링 플라즈마의 특성 연구 = Plasma characteristics of DC magnetron sputtering source with gridslink 인정환; In, Jeong-Hwan; et al, 한국과학기술원, 2004 |
| 그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구 인정환; 정민재; 한전건; 장홍영, 한국표면공학회 2003년도 춘계학술발표회, 한국표면공학회, 2003 |
| 두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정 인정환; 인정환; 장홍영, 한국진공학회 2003년도 제24회 학술발표회 , 한국진공학회, 2003 |
| 펄스 마그테트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성과 증착율에 대한 연구 = Characteristics of plasma and deposition rate in pulsed-DC magnetron sputtering sourcelink 인정환; In, Jeong-hwan; et al, 한국과학기술원, 2009 |
| 플라즈마 발생 장치 장홍영; 서상훈; 인정환, 2011-12-27 |
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Type
- 5,689 Article
- 4,331 Conference
- 460 Patent
- 963 Thesis(Master)
- 947 Thesis(Ph.D)
Open Access
Date issued
- 1,191 2020 - 2024
- 3,823 2010 - 2019
- 3,275 2000 - 2009
- 2,723 1990 - 1999
- 1,039 1980 - 1989