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전자빔과 축전결합 플라즈마를 이용한 플라즈마 처리 장치 장홍영; 배인식; 박기정, 2018-01-12 |
축전 결합 플라즈마용 전극 구조체 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정; 이윤성, 2017-05-16 |
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2014-08-01 |
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2018-03-02 |
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