메탄/수소/아르곤/산소 계에서 마이크로웨이브 플라즈마 화학증착법을 이용한 다이아몬드 합성에 관한 연구A study on the diamond synthesis by the microwave plasma CVD in the $CH_4/H_2/Ar/O_2$ systems
- Advisors
- 이재영; Lee, Jai-Young
- Description
- 한국과학기술원 : 재료공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1996
- Identifier
- 106179/325007 / 000943575
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 1996.2, [ iii, 52 p. ]
- Keywords
박막의 질; 산소; 아르곤; 다이아몬드; 성장속도; Growth rate; Film quality; Oxygen; Argon; Diamond
- Appears in Collection
- MS-Theses_Master(석사논문)
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