메탄/수소/아르곤/산소 계에서 마이크로웨이브 플라즈마 화학증착법을 이용한 다이아몬드 합성에 관한 연구A study on the diamond synthesis by the microwave plasma CVD in the $CH_4/H_2/Ar/O_2$ systems
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이재영 | - |
| dc.contributor.advisor | Lee, Jai-Young | - |
| dc.contributor.author | 한영수 | - |
| dc.contributor.author | Han, Young-Su | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-15T01:29:45Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-15T01:29:45Z | - |
| dc.date.issued | 1996 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=106179&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/50586 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 1996.2, [ iii, 52 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 박막의 질 | - |
| dc.subject | 산소 | - |
| dc.subject | 아르곤 | - |
| dc.subject | 다이아몬드 | - |
| dc.subject | 성장속도 | - |
| dc.subject | Growth rate | - |
| dc.subject | Film quality | - |
| dc.subject | Oxygen | - |
| dc.subject | Argon | - |
| dc.subject | Diamond | - |
| dc.title | 메탄/수소/아르곤/산소 계에서 마이크로웨이브 플라즈마 화학증착법을 이용한 다이아몬드 합성에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | A study on the diamond synthesis by the microwave plasma CVD in the $CH_4/H_2/Ar/O_2$ systems | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 106179/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 재료공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000943575 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이재영 | - |
| dc.contributor.localauthor | Lee, Jai-Young | - |
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- MS-Theses_Master(석사논문)
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