학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 1999.2, [ xiii, 110 p. 삽도 ; ]
아르곤플루오라이드; 보호기; 건식현상; Silicon containing polymer; Protecting group; ArF; Dry-developable; 실리콘함유 고분자
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