| 1 | 기상유도결정화법에 의한 비정질 Si 박막의 저온결정화와 다결정 Si 박막트랜지스터에의 응용에 관한 연구 = Low temperature crystallization of amorphous Si thin films using vapor-induced crystallization and its application to polycrystalline Si thin film transistorslink 엄지혜; Eom, Ji-Hye; 안병태; Ahn, Byung-Tae, 한국과학기술원, 2005 |
| 2 | 저온 열처리 공정에 의한 LCD-TFT용 poly-Si 박막의 제조에 관한 연구 = A study on the fabrication of poly-Si films for LCD-TFT by low-temperature annealing processlink 김해열; Kim, Hae-Yeol; 이재영; Lee, Jai-Young, 한국과학기술원, 2000 |
| 3 | (A) transmission electron microscopy study on the crystallization of low pressure chemical vapor deposition amorphous silicon thin films = 저압화학증착된 비정질 실리콘 박막의 결정화에 관한 투과전자현미경 연구link Kim, Jin-Hyeok; 김진혁; Lee, Jeong-Yong; 이정용, 한국과학기술원, 1996 |
| 4 | $NiCl_2$ 및 마이크로웨이브 가열을 이용한 비정질 Si 박막의 저온결정화에 관한 연구 = Low temperature crystallization amorphous Si thin films using $NiCl_2$ and microwave heatinglink 안진형; Ahn, Jin-Hyung; 안병태; Ahn, Byung-Tae, 한국과학기술원, 2002 |
| 5 | 기상유도결정화 및 RTA 공정에 의한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터 특성에 관한 연구 = Fabrication of polycrystalline Si films by vapor-induced crystallization and rapid thermal annealing process and characterization of polycrystalline Si thin film transistorslink 양용호; Yang, Yong-Ho; 안병태; Ahn, Byung-Tae, 한국과학기술원, 2011 |
