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염소계 플라즈마를 이용한 구리박막의 건식 식각기구에 관한 연구 = A study on the dry etching mechanism of copper film in chlorine-based plasmalink 이성권; Lee, Sung-Kwon; 이원종; Lee, Won-Jong, 한국과학기술원, 1997 | |
다이아몬드의 전압 인가에 의한 핵생성 기구에 대한 연구 = A study on the bias-enhanced nucleation mechanism of diamondlink 최균; Choi, Kyoon; 강석중; Kang, Suk-Joong L., 한국과학기술원, 1997 | |
ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식 식각특성에 관한 연구 = A study on the dry etching characteristics of $RuO_2$ thin film in electron cyclotron resonance plasmalink 이응직; Lee, Eung-Jik; 이원종; Lee, Won-Jong, 한국과학기술원, 1998 | |
기상합성 다이아몬드의 핵생성 및 성장에 미치는 바이어스 인가 효과 = Effects of electrical bias on nucleation and growth of CVD diamondlink 송복한; Song, Bok-Han; 윤덕용; Yoon, Duk-Yong, 한국과학기술원, 1999 |
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