| 1 | ECR PECVD법을 이용한 ULSI DRAM Capacitor용 (Pb,La)(Zr,Ti)$O_3$ 박막의 제조 및 특성 평가 연구 = Fabrication and characterization of ECR PECVD (Pb,La)(Zr,Ti)$O_3$ thin films for the charge storage capacitors of ULSI DRAMlink 신중식; Shin, Joong-Shik; 이원종; 천성순; Lee, Won-Jong; Chun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1997 |
| 2 | 화학증착법에 의해 제조된 Blanket 및 selective 텅스텐박막의 물성에 관한 연구 = The study on the properties of blanket and selective tungsten prepered by CVDlink 박영욱; Park, Young-Wook; 천성순; Chun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1991 |
| 3 | 구리의 화학증착기구에 관한 연구 = A study on the copper chemical vapor deposition mechanism using copper(I) hexafluoroacetylacetonate trimethylvinylsilanelink 이원준; Lee, Won-Jun; 박종욱; Park, Chong-Ook, 한국과학기술원, 1996 |
| 4 | Hot-filament 화학증착법에 의한 다이아몬드의 성장에 관한 연구 = A study on the diamond growth by hot-filament chemical vapor depositionlink 권대원; Kweon, Dae-Weon; 이재영; Lee, Jai-Young, 한국과학기술원, 1991 |
| 5 | 저압 다이아몬드 합성에서의 Charged cluster 모델 = The charged cluster model for low pressure synthesis of diamondlink 한준희; Hahn, Jun-Hee; 윤덕용; Yoon, Duk-Yong, 한국과학기술원, 1995 |
| 6 | 산소-아세틸렌 토치 및 DC glow discharge법에 의한 다이아몬드 성장에 관한 연구 = A study on the diamond growth by oxy-acetylene torch and DC glow discharge CVD processlink 이욱성; Lee, Wook-Seong; 윤덕용; Yoon, Duk-Yong, 한국과학기술원, 1995 |
| 7 | Fe-base 및 Ni-base alloy 위에 증착된 TiN 박막의 증착특성 및 전기화학적 특성 = Deposition characteristics and electrochemical properties of TiN films deposited on Fe-base alloy and Ni-base alloylink 인치범; In, Chi-Bum; 천성순; Chun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1995 |
