| 1 | 원자층증착법으로 제조한 Zn1-xMgxO 박막을 버퍼층으로 이용한 Cd-free CIGS 태양전지의 성능 향상에 관한 연구 = Performance improvement of Cd-free CIGS solar cells using Zn1-xMgxO buffer layers deposited by atomic layer depositionlink 이창수; Lee, Chang-Soo; 안병태; Ahn, Byung-Tae, 한국과학기술원, 2013 |
| 2 | Fabrication and characterization of vertically well-aligned PbTiO3/TiN core-shell nanotube arrays = 수직으로 정렬된 $PbTiO_3/TiN$ 코어쉘 나노튜브배열의 제조와 특성 분석link Yoon, Jae-Sung; 윤재성; No, Kwang-Soo; 노광수, 한국과학기술원, 2013 |
| 3 | (A) study on the ald modeling for process design of multi-component thin films = 다성분계박막 공정설계를 위한 원자층증착법 모델링에 대한 연구link Chung, Hoi-Sung; 정회성; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2008 |
| 4 | (A) study on the ruthenium thin films formed by atomic layer deposition (ALD) = ALD 증착법으로 형성된 ruthenium 박막의 특성에 관한 연구link Kwon, Oh-Kyum; 권오겸; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2004 |
| 5 | Ir 하부전극 위에서 PEALD로 증착 된 TiAlO 박막의 특성에 대한 연구 = A study on TiAlO films deposited by plasma enhanced atomic layer depositionlink 주대권; Joo, Dae-Kwon; 안병태; Ahn, Byung-Tae, 한국과학기술원, 2009 |
| 6 | (A) study on the atomic layer deposition mechanism and characteristics of Ti-N,Ti-Si-N films deposited by cycleCVD = Cycle-CVD 법으로 증착된 Ti-N, Ti-Si-N 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구link Min, Jae-Sik; 민재식; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 1999 |
| 7 | ALD와 PEALD를 이용한 $Al_2O_3$ 박막 증착에 관한 연구 = A study on the $Al_2O_3$ thin film deposition by ALD and PEALDlink 전우석; Jeon, Woo-Seok; 강상원; Kang, Sang-Won, 한국과학기술원, 2003 |
| 8 | (A) study on the growth kinetic modeling for atomic layer deposition of multi-component thin films = 다성분계 박막의 ALD를 위한 박막성장의 동역학적 modeling에 관한 연구link Kim, Jin-Hyock; 김진혁; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2005 |
