| 1 | 원자층증착법으로 제조한 Zn1-xMgxO 박막을 버퍼층으로 이용한 Cd-free CIGS 태양전지의 성능 향상에 관한 연구 = Performance improvement of Cd-free CIGS solar cells using Zn1-xMgxO buffer layers deposited by atomic layer depositionlink 이창수; Lee, Chang-Soo; 안병태; Ahn, Byung-Tae, 한국과학기술원, 2013 |
| 2 | (A) study on the ald modeling for process design of multi-component thin films = 다성분계박막 공정설계를 위한 원자층증착법 모델링에 대한 연구link Chung, Hoi-Sung; 정회성; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2008 |
| 3 | (A) study on the growth kinetic modeling for atomic layer deposition of multi-component thin films = 다성분계 박막의 ALD를 위한 박막성장의 동역학적 modeling에 관한 연구link Kim, Jin-Hyock; 김진혁; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2005 |
| 4 | (A) study on $SrTiO_3$ thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition for DRAM capacitor dielectric = PEALD법으로 증착된 DRAM capacitor 유전체용 $SrTiO_3$ 박막의 특성에 관한 연구link Ahn, Ji-Hoon; 안지훈; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2009 |
| 5 | Transmission electron microscopy study of $ZnO/Al_{2}O_{3}$ based thin film transistor grown by atomic layer deposition method = ALD 방법으로 증착된 $ZnO/Al_{2}O_{3}$ 기반 박막형 트랜지스터의 투과전자현미경 연구link Jang, Yong-Woon; 장용운; Lee, Jeong-Yong; 이 정 용, 한국과학기술원, 2011 |
