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FRAM 소자 응용을 위한 ECR PECVD PZT 커패시터 특성에 미치는 전극의 영향 = Effect of electrodes on the characteristics of ECR PECVD PZT capacitors for the application to FRAM deviceslink 이희철; Lee, Hee-Chul; 이원종; Lee, Won-Jong, 한국과학기술원, 2002 | |
Ru 전구체의 열분해 메카니즘과 Ru 박막의 화학기상 증착 = Thermal decomposition mechanism of Ru precursor and chemical vapor deposition of Ru filmslink 최종완; Choi, Jong-Wan; 노광수; No, Kwang-Soo, 한국과학기술원, 2004 |
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