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화학증착법에 의한 $PbTiO_3$ 박막의 제조 = Fabrication of $PbTiO_3$ thin films by chemical vapor depositionlink 이혜용; Lee, Hae-Yong; 김호기; Kim, Ho-Gi, 한국과학기술원, 1993 | |
Wet oxidation 이 10nm 두께이하의 silicon nitride film 의 전기적 특성에 미치는 영향 = Effects of wet oxidation on the electrical properties of a sub-10nm thick silicon nitride filmslink 이은구; Lee, Eun-Gu; 임호빈; Lim, Ho-Bin, 한국과학기술원, 1991 | |
Blanket 텅스텐 증착에 있어서 $WF_6$-$SiH_4$-$H_2$ 혼합기체와 TiN Glue Layer 간의 초기 반응에 관한 연구 = A study on the initial reactions of $WF_6$-$SiH_4$-$H_2$ gas mixture with TiN Glue Layer for Blanket tungsten depositionlink 이영종; Lee, Young-Jong; 천송순; Chun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1994 |