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텅스텐 박막의 저압화학 증착 기구 및 증착층의 특성에 관한 연구 = A study on the mechanisms of tungsten low pressure chemical vapor deposition and the characteristics of the deposited layerlink 박흥락; Park, Heung-Lak; 천성순; 남수우; et al, 한국과학기술원, 1989 |
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