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Cu/TiN/Ti/Si 다층막의 열처리에 관한 연구 = A study on the annealing of the Cu/TiN/Ti/Si Multilayerlink 라사균; Rha, Sa-Kyun; 박종욱; 천성순; et al, 한국과학기술원, 1997 |
구리의 화학증착기구에 관한 연구 = A study on the copper chemical vapor deposition mechanism using copper(I) hexafluoroacetylacetonate trimethylvinylsilanelink 이원준; Lee, Won-Jun; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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