두 팔을 가진 화학 박막 증착용 클러스터 장비의 스케줄링과 공정 시간 결정Scheduling and determination of feasible process times for CVD cluster tools with a dual end effector
- Advisors
- 이태억researcher; Lee, Tea-Eogresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 산업공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2000
- Identifier
- 158525/325007 / 000983477
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업공학과, 2000.2, [ ii, 51 p. ]
- Keywords
체제 시간 제약; 화학 박막 증착용 클러스터 장비; 스왑; SWAP; Residency time constraint; CVD cluster tool
- Appears in Collection
- IE-Theses_Master(석사논문)
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