두 팔을 가진 화학 박막 증착용 클러스터 장비의 스케줄링과 공정 시간 결정Scheduling and determination of feasible process times for CVD cluster tools with a dual end effector
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이태억 | - |
| dc.contributor.advisor | Lee, Tea-Eog | - |
| dc.contributor.author | 이환용 | - |
| dc.contributor.author | Lee, Hwan-Yong | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T04:20:52Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T04:20:52Z | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=158525&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/41584 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업공학과, 2000.2, [ ii, 51 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 체제 시간 제약 | - |
| dc.subject | 화학 박막 증착용 클러스터 장비 | - |
| dc.subject | 스왑 | - |
| dc.subject | SWAP | - |
| dc.subject | Residency time constraint | - |
| dc.subject | CVD cluster tool | - |
| dc.title | 두 팔을 가진 화학 박막 증착용 클러스터 장비의 스케줄링과 공정 시간 결정 | - |
| dc.title.alternative | Scheduling and determination of feasible process times for CVD cluster tools with a dual end effector | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 158525/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 산업공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000983477 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이태억 | - |
| dc.contributor.localauthor | Lee, Tea-Eog | - |
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