활성영역이 유리 기판 내에 매몰된 새로운 구조의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터Novel TFT with active layer buried in glass substrate
- Advisors
- 김충기; 한철희; Kim, Choong-Ki; Han, Chul-Hi
- Description
- 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1996
- Identifier
- 106013/325007 / 000943569
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, 1996.2, [ iv, 56 p. ]
- Keywords
화학-기계적 연마; 다결정실리콘; Buried island thin film transistor(BITFT); Chemical mechanical polishing(CMP); 매몰 박막 트랜지스터; Polycrystalline silicon
- Appears in Collection
- EE-Theses_Master(석사논문)
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