표면검사를 위한 3차원 전영역 고분해능 초고속 광간섭단층촬영

Abstract

광간섭단층촬영 기법에 대한 수요가 늘어나면서 해상도 향상에 대한 논의가 많았다. 하지만 광간섭단층촬영 기법 특성상 생기는 횡방향 해상도와 이미징 범위의 상충관계로 인해 근본적인 해상도 한계가 존재했다. 전산적응광학 및 간섭계 합성 개구 마이크로스코피와 같은 이미지 후처리 방법을 통해 해상도 향상을 달성하려는 시도가 있었으나 광원의 한계로 활용에 제한이 있었다. 본 연구에서는 빠른 반복률과 높은 위상 안정성을 동시에 확보하는 SPML레이저를 사용한 이미징 시스템에 전산 디포커스 및 수차 제거 알고리즘을 적용하여 3차원 전 영역에서 고해상도의 초고속 이미징이 가능한 표면 검사용 시스템을 개발하였다.