전열 구동 기계식 스위치 소자 및 이를 이용한 메모리 장치

Abstract

본 발명에 따른 스위치 소자는 제1 전극 및 제2 전극을 포함하고, 상기 제2 전극은 바디부 및 상기 바디부에 연결된 캔틸레버를 포함한다. 그리고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 인가되는 전압에 의해 발생하는 정전기력에 의하여 상기 캔틸레버의 일단이 상기 제1 전극과 접촉하거나, 바디부의 양단에 인가되는 전압에 의해 발생하는 열에 의하여 캔틸레버의 일단이 상기 제1 전극으로부터 분리된다. 또한, 제2 전극은 제2-1 전극, 제2-2 전극 및, 그 사이에 연결된 엔지니어드 빔을 포함할 수 있다. 제2-1 전극의 바디부와 제2-2 전극의 바디부 사이에 흐르는 전류에 의하여 발생하는 열에 따른 열팽창에 기초하여, 엔지니어드 빔이 상기 제1 전극과 접촉하거나, 제2-1 전극 및 제2-2 전극의 바디부의 양단에 흐르는 전류에 의하여 발생하는 열에 따른 열팽창에 기초하여, 엔지니어드 빔이 상기 제1 전극으로부터 분리된다. 본 발명에 따르면, 초저전력, 고속 열팽창이 가능한 나노 전열 구동 방식을 통해 높은 신뢰성, 낮은 동작 전압을 가지며, 고속 동작이 가능해진다.