금속과 실리콘 접합 구조를 적용한 자기장 센서MAGNETIC SENSOR USING METAL AND SILICON JUNCTION STRUCTURE
실리콘 기판, 상기 실리콘 기판 위에 형성되어 있고 상기 실리콘 기판과 직접 접촉하는 십자 모양 금속 패턴, 상기 십자 모양 금속 패턴을 덮는 절연막을 포함하는 자기장 센서.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2022-01-07
- Application Number
- 10-2022-0002748
- Registration Date
- 2024-03-04
- Registration Number
- 10-2644998-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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