금속과 실리콘 접합 구조를 적용한 자기장 센서MAGNETIC SENSOR USING METAL AND SILICON JUNCTION STRUCTURE
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김갑진 | ko |
| dc.contributor.author | 강준호 | ko |
| dc.date.accessioned | 2024-04-18T09:04:16Z | - |
| dc.date.available | 2024-04-18T09:04:16Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/319131 | - |
| dc.description.abstract | 실리콘 기판, 상기 실리콘 기판 위에 형성되어 있고 상기 실리콘 기판과 직접 접촉하는 십자 모양 금속 패턴, 상기 십자 모양 금속 패턴을 덮는 절연막을 포함하는 자기장 센서. | - |
| dc.title | 금속과 실리콘 접합 구조를 적용한 자기장 센서 | - |
| dc.title.alternative | MAGNETIC SENSOR USING METAL AND SILICON JUNCTION STRUCTURE | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김갑진 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2022-0002748 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2644998-0000 | - |
| dc.date.application | 2022-01-07 | - |
| dc.date.registration | 2024-03-04 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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