플라즈마 안테나 및 그의 제조 방법PLASMA ANTENNA AND FABRICATION METHOD THEREOF
본 발명에 따른 플라즈마 안테나는, PIN 다이오드 구조를 가지는 플라즈마 안테나로서, 비도핑 기판; 기판상에 형성된 P형 영역, N형 영역 및 그 사이에 위치한 비도핑 영역에 의하여 형성된 복수의 PIN 다이오드; P형 영역 및 N형 영역 상부에 형성된 복수의 연결선; 복수의 PIN 다이오드 간의 누설 전류를 차단하는 절연 영역; 및 복수의 연결선 중 P형 영역으로만 이루어진 영역 또는 N형 영역으로만 이루어진 영역 상부에 형성된 연결선에 구비되는 패드;를 포함하고, P형 영역으로만 이루어진 영역 상부의 연결선에 형성된 패드는 전압원에 연결되고, N형 영역으로만 이루어진 영역 상부의 연결선에 형성된 패드는 그라운드(GND)에 연결된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2016-02-03
- Application Number
- 10-2016-0013279
- Registration Date
- 2017-08-01
- Registration Number
- 10-1765512-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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