펨토초 레이저의 표면상 삼차조화파를 활용한 실리콘 웨이퍼의 측정 기술
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이인재 | ko |
| dc.contributor.author | 김대희 | ko |
| dc.contributor.author | 김영진 | ko |
| dc.date.accessioned | 2023-11-28T11:02:11Z | - |
| dc.date.available | 2023-11-28T11:02:11Z | - |
| dc.date.created | 2023-11-24 | - |
| dc.date.issued | 2023-05-11 | - |
| dc.identifier.citation | 2023 한국정밀공학회 춘계학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/315396 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국정밀공학회 | - |
| dc.title | 펨토초 레이저의 표면상 삼차조화파를 활용한 실리콘 웨이퍼의 측정 기술 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 2023 한국정밀공학회 춘계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 라마다프라자제주호텔 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김영진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이인재 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김대희 | - |
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