볼로미터 및 이의 제조 방법BOLOMETER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
본 발명은 볼로미터 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 독창적 구조로서, 높은 기계적 안정성, 우수한 열적 특성, 고감도 특성 및 고속 동작 특성을 갖는 볼로미터 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 형태에 따른 볼로미터는, 제1 방향으로 소정 길이를 갖는 나노와이어를 다수로 포함하고, 상기 다수의 나노와이어가 제2 방향을 따라 평행하게 배열된, 나노와이어 멤브레인; 및 상기 나노와이어 멤브레인를 지지하여 상기 나노와이어 멤브레인을 공중 부유시키는, 브릿지;를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-10-22
- Application Number
- 10-2020-0137283
- Registration Date
- 2023-07-07
- Registration Number
- 10-2554657-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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