향상된 성능을 갖는 박막화된 초격자 광검출기 및 그의 제조 방법SUPERLATTICE PHOTODETECTOR THINNED WITH IMPROVED PERFORMANCE AND MANUFATURING METHOD THEREOF
다양한 실시예들은 초격자 광검출기 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 초격자 광검출기는 입사되는 광을 흡수하기 위한 흡수층, 및 흡수층에 결합되어, 입사되는 광이 흡수층 내에서 도파되도록 하는 도파층을 포함하고, 도파층은 복수의 금속 패턴들과 복수의 유전체 패턴들이 반복으로 배열되는 주기 구조를 포함할 수 있다. 다양한 실시예들에 따르면, 초격자 광검출기는 향상된 성능을 가지면서도, 박막화될 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-11-12
- Application Number
- 10-2020-0151149
- Registration Date
- 2022-12-05
- Registration Number
- 10-2475560-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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