互い違いに配置されたカンチレバーを用いるマイクロミラーデバイス及びその応用素子서로 엇갈리게 배치된 캔틸레버를 이용하는 마이크로 미러 디바이스 및 그 응용 소자

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【要約】 (修正有) 【課題】 互い違いに配置されたカンチレバーを用いて簡単な構造で安定した回転状態を有するマイクロミラーデバイス及びその応用素子を提供する。 【解決手段】 本発明によるマイクロミラーデバイスは、基板と21、基板21上に突出するように形成された複数個の突出支持台23、突出支持台23のそれぞれの上部に基板と平行に取り付けられて形成され、隣接するもの同士は並んで互い違いに配置された、弾性復元力を有する薄板からなるカンチレバー25と、カンチレバー25の他端の上部に形成されるミラー支持台24と、ミラー支持体24のすべての上部に取り付けられ、これらにより支持されるミラー20と、ミラー20に静電気力を与えるために、前記基板上に形成された左右の2つの電極22とからなる。
Assignee
KAIST
Country
JA (Japan)
Application Date
2002-03-27
Application Number
2002089081
Registration Date
2006-05-19
Registration Number
3804050
URI
http://hdl.handle.net/10203/303289
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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