精密作業用6自由度並列機構

Abstract

【要約】 【課題】 外部リンクと内部リンクを精密位置制御が可能な線形駆動機を使用して上板の並進運動と回転運動を自在に遂行することにより、いろいろな動作が要求される精密作業分野で広範囲に活用することができる精密作業用6自由度並列機構を提供する。 【解決手段】精密作業用6自由度並列機構において、上部に位置する上板10と、下部に位置する下板20と、前記上板10と下板20とを連結する多数の外部リンク30及び、前記上板10の中央に結合された多軸連結の球形ジョイント40と前記下板20とを連結する多数の内部リンク50を有している。この時、前記多軸連結の球形ジョイント40を中心に前記多数の内部リンク50が連結されて斜面体構造を形成し、前記内部リンク50及び外部リンク30には微細位置の制御が可能な線形駆動機が使用される。