질화알루미늄/수소화된 질화알루미늄/질화알루미늄 3층 박막을 이용한 탄성표면파 필터의 제조방법

Abstract

본 발명은 질화알루미늄(AlN) 박막을 이용한 탄성표면파(surface acoustic wave) 필터의 제조방법 및 그에 의해 제조된 탄성표면파 필터에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 수소화된 질화알루미늄(AlN : H) 박막을 증착할 때 이를 수증기로부터 보호하여 블리스터링(blistering)을 방지하기 위해 양단에 질화알루미늄(AlN)을 증착한 질화알루미늄(AlN)/수소화된 질화알루미늄(AlN : H)/질화알루미늄(AlN) 3층 박막(tri-layered films)을 이용하여 탄성표면파 필터를 제조하는 방법 및 그에 의해 제조된 탄성표면파 필터에 관한 것이다. 질화알루미늄(AlN)/수소화된 질화알루미늄(AlN : H)/질화알루미늄(AlN)의 3층 박막을 압전재료로 이용한 탄성표면파 필터의 제조방법은 용이하면서도 경제적으로, 탄성표면파 전파속도가 빠르고 전기기계 결합계수가 큰 탄성표면파 필터를 제조한다.