질화알루미늄/수소화된 질화알루미늄/질화알루미늄 3층 박막을 이용한 탄성표면파 필터의 제조방법SAW FILTER MANUFATURING METHOD USING FOR 3 LAYER
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이재영 | ko |
| dc.contributor.author | 용윤중 | ko |
| dc.contributor.author | 김윤기 | ko |
| dc.contributor.author | 한영수 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-12-10T05:02:25Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-10T05:02:25Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/302545 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 질화알루미늄(AlN) 박막을 이용한 탄성표면파(surface acoustic wave) 필터의 제조방법 및 그에 의해 제조된 탄성표면파 필터에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 수소화된 질화알루미늄(AlN : H) 박막을 증착할 때 이를 수증기로부터 보호하여 블리스터링(blistering)을 방지하기 위해 양단에 질화알루미늄(AlN)을 증착한 질화알루미늄(AlN)/수소화된 질화알루미늄(AlN : H)/질화알루미늄(AlN) 3층 박막(tri-layered films)을 이용하여 탄성표면파 필터를 제조하는 방법 및 그에 의해 제조된 탄성표면파 필터에 관한 것이다. 질화알루미늄(AlN)/수소화된 질화알루미늄(AlN : H)/질화알루미늄(AlN)의 3층 박막을 압전재료로 이용한 탄성표면파 필터의 제조방법은 용이하면서도 경제적으로, 탄성표면파 전파속도가 빠르고 전기기계 결합계수가 큰 탄성표면파 필터를 제조한다. | - |
| dc.title | 질화알루미늄/수소화된 질화알루미늄/질화알루미늄 3층 박막을 이용한 탄성표면파 필터의 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | SAW FILTER MANUFATURING METHOD USING FOR 3 LAYER | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 용윤중 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김윤기 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 한영수 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-1996-0076809 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0236975-0000 | - |
| dc.date.application | 1996-12-30 | - |
| dc.date.registration | 1999-10-05 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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