다수의 기판홀더를 포함한 열벽증착기

Abstract

본 발명은 기존의 열벽증착법에서의 시간적 손실의 주된 원인이 되는 전처리 단계와 후처리 단계에서의 열처리과정을 하나의 장비에서 동시에 수행할 수 있도록 기판 홀더의 수를 증가시킴으로써, 열벽증착법을 이용하여 양질의 박막을 대량으로 생산할 수 있는 다수의 기판홀더를 포함한 열벽증착기를 제공하는 데 그 목적이 있다.본 발명에 따르면, 가공될 기판을 파지하여 가열할 수 있는 기판홀더 및, 기판홀더에 의해 파지된 상태의 기판과 증착물질을 수용하여 증착을 행하는 열벽부를 포함하는 열벽증착기에 있어서, 상기 기판홀더는 다수의 공정에 동시에 투입될 수 있는 다수의 홀더이고, 상기 열벽증착기는 상기 다수의 홀더를 공정순서에 따라 이동시키는 홀더이동수단을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 기판홀더를 포함한 열벽증착기가 제공된다.