DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 김용민 | ko |
dc.contributor.author | 강경인 | ko |
dc.contributor.author | 김이을 | ko |
dc.contributor.author | 장현석 | ko |
dc.contributor.author | 민경욱 | ko |
dc.date.accessioned | 2022-12-09T05:01:42Z | - |
dc.date.available | 2022-12-09T05:01:42Z | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/302287 | - |
dc.description.abstract | 본 발명은 기존의 열벽증착법에서의 시간적 손실의 주된 원인이 되는 전처리 단계와 후처리 단계에서의 열처리과정을 하나의 장비에서 동시에 수행할 수 있도록 기판 홀더의 수를 증가시킴으로써, 열벽증착법을 이용하여 양질의 박막을 대량으로 생산할 수 있는 다수의 기판홀더를 포함한 열벽증착기를 제공하는 데 그 목적이 있다.본 발명에 따르면, 가공될 기판을 파지하여 가열할 수 있는 기판홀더 및, 기판홀더에 의해 파지된 상태의 기판과 증착물질을 수용하여 증착을 행하는 열벽부를 포함하는 열벽증착기에 있어서, 상기 기판홀더는 다수의 공정에 동시에 투입될 수 있는 다수의 홀더이고, 상기 열벽증착기는 상기 다수의 홀더를 공정순서에 따라 이동시키는 홀더이동수단을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 기판홀더를 포함한 열벽증착기가 제공된다. | - |
dc.title | 다수의 기판홀더를 포함한 열벽증착기 | - |
dc.title.alternative | APPARATUS FOR THE EPITAXIAL GROWTH COMPRISING A PLURALITY OF BOARD HOLDERS | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 민경욱 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김용민 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 강경인 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김이을 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 장현석 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-1998-0041734 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0275366-0000 | - |
dc.date.application | 1998-10-02 | - |
dc.date.registration | 2000-09-21 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
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