밀봉형무선압력측정소자및그제조방법

Abstract

본 발명은 신체 내의 압력을 외부에서 무선으로 측정하기 위한 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 이 무선 압력소자는 유리 기판 위에 있는 금속 전극과 실리콘 박막으로 이루어진 커패시티브 센서와 이 센서와 병렬로 전기 도금된 인덕터로 구성되며, 유리 기판과 실리콘 기판은 전기 접합 방식에 의해 결합되어 LC 공진 소자를 형성하는데, 실리콘의 열팽창 계수를 갖는 유리기판의 중앙부분에 커패시티브 압력 센서의 아래전극이 되는 소정 두께의 금속 전극이 형성되고 상기 금속 전극과 전기적으로 연결되어 금속 전극의 주변을 감싸며 외부에 압력 정보를 전달해주는 인덕터가 구리 전기 도금법에 의해 형성되며, 상기 유리기판은 붕소 확산된 실리콘 기판과 전기 접합 방식에 의해 거패시티브 압력 센서 구조를 형성시킴과 동시에 외부로부터 인덕터를 차폐시키고 압력 센서를 밀봉시키며 인덕터와 압력 센서를 전기적으로 연결시켜 무선 압력 소자를 한 칩에 집적화시키는 밀봉형 무선 압력 측정소자와 그 제조 방법을 제공하여 자체적으로 밀봉 구조를 이루어 별도의 패키지가 필요없이 안압을 외부에서 무선으로 측정할 수 있다.