초소형 굴절 실리콘 렌즈 제조방법

Abstract

마이크로머시닝 기술을 이용하여 적외선 영역에서 사용가능한 초소형 굴절 실리콘 렌즈를 제조하는 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 초소형 굴절 실리콘 렌즈 제조방법은, 실리콘 기판상에 붕소도핑영역을 형성하는 단계와, 상기 붕소도핑영역 이외의 부분만을 선택적으로 제거하는 단계를 포함하여 상기 붕소도핑영역만으로 이루어진 렌즈를 형성하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 초소형 2차원적 배열의 적외선 실리콘 렌즈 어레이를 만들 수 있다. 따라서, 적외선 감지 소자에 이러한 초소형 적외선 렌즈 어레이를 장착시킴으로써 적외선 감지 소자의 감지도를 실리콘의 굴절률인 3.4배만큼 향상시킬 수 있다. 또한, 현재 많이 상용화된 적외선 통신장치에도 응용이 가능하다. 붕소, 굴절, 적외선 렌즈, 마이크로머시닝, 실리콘 렌즈,