DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 이춘섭 | ko |
dc.contributor.author | 한철희 | ko |
dc.date.accessioned | 2022-12-07T02:03:09Z | - |
dc.date.available | 2022-12-07T02:03:09Z | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/301827 | - |
dc.description.abstract | 마이크로머시닝 기술을 이용하여 적외선 영역에서 사용가능한 초소형 굴절 실리콘 렌즈를 제조하는 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 초소형 굴절 실리콘 렌즈 제조방법은, 실리콘 기판상에 붕소도핑영역을 형성하는 단계와, 상기 붕소도핑영역 이외의 부분만을 선택적으로 제거하는 단계를 포함하여 상기 붕소도핑영역만으로 이루어진 렌즈를 형성하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 초소형 2차원적 배열의 적외선 실리콘 렌즈 어레이를 만들 수 있다. 따라서, 적외선 감지 소자에 이러한 초소형 적외선 렌즈 어레이를 장착시킴으로써 적외선 감지 소자의 감지도를 실리콘의 굴절률인 3.4배만큼 향상시킬 수 있다. 또한, 현재 많이 상용화된 적외선 통신장치에도 응용이 가능하다. 붕소, 굴절, 적외선 렌즈, 마이크로머시닝, 실리콘 렌즈, | - |
dc.title | 초소형 굴절 실리콘 렌즈 제조방법 | - |
dc.title.alternative | Method of fabricating a refractive silicon microlens | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 한철희 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2000-0000017 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0374205-0000 | - |
dc.date.application | 2000-01-03 | - |
dc.date.registration | 2003-02-18 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
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