나노스케일 금속 패턴 구현을 위한 단결정 실리콘 박막 쉐도우 마스크
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김태영 | ko |
| dc.contributor.author | 이정철 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-11-29T11:01:27Z | - |
| dc.date.available | 2022-11-29T11:01:27Z | - |
| dc.date.created | 2022-11-28 | - |
| dc.date.issued | 2022-11-09 | - |
| dc.identifier.citation | 대한기계학회 2022년 학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/301292 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | 나노스케일 금속 패턴 구현을 위한 단결정 실리콘 박막 쉐도우 마스크 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 대한기계학회 2022년 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 제주국제컨벤션센터 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이정철 | - |
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- ME-Conference Papers(학술회의논문)
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