광도파관으로이루어진광결합기센서및그의제조방법

Abstract

본 발명은 광도파관으로 이루어진 광결합기 센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 미소한 물리량 및 그의 변화량을 고감도로 감지할 수 있도록 이동 광도파관 및 고정 광도파관을 포함하는 광결합기 센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 광결합기 센서는 기판(1) 상에 형성된 고정 광도파관(2); 및, 기판(1) 상에 형성된 캔틸레버(3)에 연계되며 전기한 고정 광도파광(2)과 일정간격 이격형성되어 외력에 의해 상하로 이동할 수 있는 이동 광도파관(4)으로 구성된다. 또한, 본 발명의 광결합기 센서 제조방법은 기판 상에 클래딩층(21)을 형성하고 클래딩층(21) 상에 코어층(22)을 형성하는 과정; 전기한 코어층(22)을 삭각하여 고정 광도파관(2)을 형성하는 과정; 전기항 클래딩층(21) 및 고정 광도파관(2) 상에 지지층(23)을 형성하는 과정; 전기한 지지층(23) 상에 캔틸레버(3) 및 캔틸레버(3)와 연계된 이동 광도파관(4)을 형성하는 과정; 및, 전기한 지지층(23)을 선택적 식각하여 캔틸레버 지지판(5)을 형성하는 과정을 포함한다. 본 발명의 광결합기 센서는 미소한 물리량 및 그의 변화량을 고감도로 측정 및 감지할 수 있으며, 본 발명에 의해 전기한 광결합기 센서를 간단한 과정에 의해 경제적으로 제조할 수 있다.