금속흡착법에의한다결정규소박막의제조방법

Abstract

본 발명은 다결정 규소박막의 제조방법에 관한 것이다. 좀더 구체적으로, 본 발명은비정질 규소박막에 금속을 흡착시켜 열처리함으로써, 낮은 온도에서 대면적의 다결정 규소박막을 경제적으로 제조할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법은 기판을 세척하고 LPCVD 또는 PECVD법에 의해 비정질 규소박막을 증착시키는 공정; 전기 공정에서 수득한 비정질 규소박막이 증착된 기판에 스핀코팅법으로 규소박막 상에 금속용액을 흡착시키는 공정; 및, 불활성가스 분위기 하에서 전기 공정에서 수득한 금속용액이 흡착된 규소박막을 450 내지 600℃의 온도에서 열처리하는 공정을 포함하며, 본 발명에 의해 종래의 방법보다 100℃ 이상 낮은 온도에서 다결정 규소박막을 제조할 수 있으므로, 석영 등의 고가의 기판 대신 저렴한 유리기판을사용할 수 있는 동시에 대면적의 다결정 규소박막을 경제적으로 제조할 수 있다는 것이 확인되었다.