DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 안병태 | ko |
dc.contributor.author | 손동균 | ko |
dc.date.accessioned | 2022-11-18T09:02:19Z | - |
dc.date.available | 2022-11-18T09:02:19Z | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/300115 | - |
dc.description.abstract | 본 발명은 다결정 규소박막의 제조방법에 관한 것이다. 좀더 구체적으로, 본 발명은비정질 규소박막에 금속을 흡착시켜 열처리함으로써, 낮은 온도에서 대면적의 다결정 규소박막을 경제적으로 제조할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법은 기판을 세척하고 LPCVD 또는 PECVD법에 의해 비정질 규소박막을 증착시키는 공정; 전기 공정에서 수득한 비정질 규소박막이 증착된 기판에 스핀코팅법으로 규소박막 상에 금속용액을 흡착시키는 공정; 및, 불활성가스 분위기 하에서 전기 공정에서 수득한 금속용액이 흡착된 규소박막을 450 내지 600℃의 온도에서 열처리하는 공정을 포함하며, 본 발명에 의해 종래의 방법보다 100℃ 이상 낮은 온도에서 다결정 규소박막을 제조할 수 있으므로, 석영 등의 고가의 기판 대신 저렴한 유리기판을사용할 수 있는 동시에 대면적의 다결정 규소박막을 경제적으로 제조할 수 있다는 것이 확인되었다. | - |
dc.title | 금속흡착법에의한다결정규소박막의제조방법 | - |
dc.title.alternative | METHOD FOR MANUFACTURING A POLY-CRYSTALLINE FILM BY USING A METAL DEPOSITION | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 안병태 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 손동균 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-1994-0038136 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0144643-0000 | - |
dc.date.application | 1994-12-28 | - |
dc.date.registration | 1998-04-21 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
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