위상 변환 격자를 이용한 엔코더

Abstract

본 발명은 두 격자에 의해 생성되는 모아레 무늬의 명암 변화를 검출하여 피측정물의 직선 및 회전 변위를 측정하는 위상 변환 격자를 이용한 엔코더에 관한 것이다. 본 발명의 목적은, 두 격자간의 기울임 각 변화에 민감하지 않고 저가로 제작할 수 있으며, 위상 변환 격자를 이용하고 모아레 무늬선과 수평인 방향으로 수광소자를 배열하는 위상 변환 격자를 이용한 엔코더를 제공하는 것이다.이러한 본 발명은, 빛을 조사하는 광원과, 상기 광원의 정면에 배치되어 피측정물과 함께 직선 및 회전 이동하는 기준 격자, 상기 기준 격자에 특정 각도만큼 기울어진 상태로 겹쳐 배열되어 상기 기준 격자와 함께 계단식 모아레 무늬를 형성하는 위상 변환 격자, 상기 위상 변환 격자와 기준 격자에 의해 생성된 모아레 무늬선 방향으로 상기 위상 변환 격자의 1/4주기마다 하나씩 배치되어, 상기 기준 격자의 변위와 비례하게 변하는 모아레 무늬의 명암을 검출하는 4개의 수광소자, 및 상기 4개의 수광소자에서 출력되는 신호를 처리하여 피측정물의 변위에 비례하는 두 개의 주기신호를 출력하는 신호 처리기를 포함한다.위상 변환 격자, 엔코더, 기준 격자, 모아레, 수광소자, 변위 측정장치