원자힘 현미경용 캔틸레버 세트, 이를 포함하는 기판 표면 검사 장치, 이를 이용한 반도체 기판의 표면 분석 방법 및 이를 이용한 미세 패턴 형성 방법Cantilever set for atomic force microscope, apparatus for substrate surface inspection comprising the same, method of analyzing a surface of a semiconductor substrate using the same, and method of forming a micropattern using the same
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김상욱 | ko |
| dc.contributor.author | 이경미 | ko |
| dc.contributor.author | 박정주 | ko |
| dc.contributor.author | 권승철 | ko |
| dc.contributor.author | 김은성 | ko |
| dc.contributor.author | 이시용 | ko |
| dc.contributor.author | 최영주 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-08-03T10:00:19Z | - |
| dc.date.available | 2022-08-03T10:00:19Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/297708 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 원자힘 현미경용 캔틸레버 세트, 이를 포함하는 기판 표면 검사 장치, 이를 이용한 반도체 기판의 표면 분석 방법 및 이를 이용한 미세 패턴 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 태양은 반도체 기판으로 형성된 핸들링부; 상기 핸들링부의 일면에 제공된 캔틸레버부; 및 상기 캔틸레버부의 일단에 제공된 프로브 팁을 포함하고, 상기 프로브 팁은 폴리머로 개질된 표면을 적어도 부분적으로 갖는 원자힘 현미경용 캔틸레버 세트를 제공한다. 상기 캔틸레버 세트를 이용하면 기판의 표면을 직접적으로 더욱 정밀하게 분석 및 검사할 수 있다. | - |
| dc.title | 원자힘 현미경용 캔틸레버 세트, 이를 포함하는 기판 표면 검사 장치, 이를 이용한 반도체 기판의 표면 분석 방법 및 이를 이용한 미세 패턴 형성 방법 | - |
| dc.title.alternative | Cantilever set for atomic force microscope, apparatus for substrate surface inspection comprising the same, method of analyzing a surface of a semiconductor substrate using the same, and method of forming a micropattern using the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김상욱 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이경미 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박정주 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 권승철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김은성 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이시용 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최영주 | - |
| dc.contributor.assignee | 삼성전자주식회사,한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2016-0009481 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2407818-0000 | - |
| dc.date.application | 2016-01-26 | - |
| dc.date.registration | 2022-06-07 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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