압전 물질을 이용한 고민감도 압력 센서 및 이를 이용한 스마트 디바이스HIGH SENSITIVE PRESSURE SENSOR USING PIEZOELECTRIC NANOCOMPOSITE MATERIALS, AND SMART DEVICE USING THE SAME
본 발명에 따른 압력 센서는 동일 평면 상에 배치된 제1 감지 전극 및 제2 감지 전극, 및 상기 평면의 상부에 형성되고, 상기 제1 감지 전극 및 제2 감지 전극에 접촉되는 절연층을 포함하고, 상기 절연층은 압전 나노 물질을 포함한다. 이에 의하여, 동일 평면상에 배치된 감지 전극 위에 절연층을 배치시킴으로써 기계적인 안정성을 도모할 수 있고, 압력에 따른 나노 물질의 밀도 증가뿐만 아니라, 압전 물질에서의 발생된 전위차를 이용하여 압력에 따른 정전용량 변화를 증가시켜 고민감도의 압력 센서를 구현할 수 있게 된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-04-01
- Application Number
- 10-2020-0039867
- Registration Date
- 2021-10-29
- Registration Number
- 10-2322132-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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