학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학부, 2020.8,[ix, 69 p. :]
전자빔을 이용한 재결정화▼a이온빔에 의한 비정질화▼a플라즈마▼a모놀리식 3 차원 집적▼a이온 주입▼a실시간 TEM▼a낮은 열 소모 비용; Electron-beam-induced crystallization▼aion-beam-induced amorphization▼aPlasma▼a3D monolithic integration▼aion implantation▼ain-situ TEM▼alow thermal budget
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